電子廠廢氣處理辦法——低溫等離子技能
未知, 2022-07-29 14:32, 次瀏覽
電子廠廢氣處理辦法——低溫等離子技能
電子廠涉及到的職業(yè)許多,不同職業(yè)在工藝上有必定差異,發(fā)生的廢氣種類也有必定的差異,今日就從半導體職業(yè)下手為***家介紹電子廠廢氣處理。電子廠半導體廢氣的處理***要針對半導體職業(yè)有機廢氣和毒性氣體的治理,咱們嘗試運用低溫等離子廢氣處理技能。半導體職業(yè)發(fā)生的有機廢氣,***要能夠分為,半導體制作工藝發(fā)生的有機廢氣,和半導體封裝工藝發(fā)生的有機廢氣。
電子廠廢氣
1、廠家處理有機廢氣和毒氣的處理辦法
現(xiàn)在,半導體制作進程中排放的含有有機成分的廢氣(voc)一般選用直接焚燒、活性炭吸附、生物氧化等辦法進行處理。
催化燃燒設備
2、針對電子廠廢氣處理半導體職業(yè)有機廢氣和毒性氣體的治理,低溫等離子廢氣處理技能的凈化原理是:
將一般的220V/380V交流電經(jīng)過變壓器,變頻器轉(zhuǎn)換為高頻高壓的電壓,發(fā)生足以擊穿氣體的電壓,釋放出高能電子,高能電子破壞有機廢氣中的氣體分子之間的化學鍵,斷開這些化學鍵從而發(fā)生了各種碳原子、氧原子、氫原子、氫氧自由基、臭氧等混合體,等離子體中的氧原子和碳原子結(jié)合構(gòu)成二氧化碳,氧原子和氫原子結(jié)合構(gòu)成水分子,終究發(fā)生排放到***氣中的氣體為無污染的二氧化碳(CO2)和水(H2O)。
洗滌塔+低溫等離子處理方案
3、電子廠廢氣處理低溫等離子廢氣處理技能具有以下***點:
放電發(fā)生的低溫等離子體中,電子能量高,幾乎能夠和一切的惡臭氣體分子效果。
反應快,不受氣速約束。
選用防腐蝕資料。
只需用電,操作極為簡略。
設備發(fā)動、中止十分迅速,隨用隨開,常溫常壓下即能運用。
氣阻小,適用于***風量的廢氣處理。
4、電子廠廢氣處理低溫等離子廢氣處理技能應用***域:集成電路出產(chǎn)企業(yè)、分立器件出產(chǎn)企業(yè)、光電組件出產(chǎn)企業(yè)。
5、半導體企業(yè)廢氣排放***征分析
半導體職業(yè)廢氣排放具有排氣量***、排放濃度小的***色。
6、半導體職業(yè)有機廢氣和毒氣的來歷
半導體制作工藝發(fā)生的揮發(fā)性有機廢氣,***要來歷于光刻、顯影、刻蝕及分散等工序
與半導體制作工藝比較,半導體封裝工藝發(fā)生的有機廢氣較為簡略,***要為晶粒粘貼、封膠后烘烤進程發(fā)生的烘烤廢氣。
含毒氣性廢氣,其來歷為化學氣相沉積、干蝕刻機、分散、離子布值機及磊晶等制程時所發(fā)生。***要成分是磷化氫等。
電子廠廢氣處理半導體低溫等離子技能,在實踐設計中,需求加洗滌塔作為預處理設備,來阻攔粉塵和易溶性的酸堿廢氣。